该项目是2010年国家质检公益性行业科研专项《计量型扫描电子显微镜的研制及微纳校准技术的研究》的子项目，项目完成了一套新型纳米级微位移动、静态测量校准平台，系统主要由上位机、控制器、压电陶瓷驱动器、电容传感器、压电陶瓷微位移机构以及A/D与D/A部分组成，利用压电陶瓷驱动器与电容传感器组成闭环微位移发生器，可用于校准微位移传感器的静、动态特性，还可发生频率、幅值可调的振动位移量。主要技术指标为：位移灵敏度5nm、行程25μm，满量程线性度1%；满量程动态频率响应：500Hz；负载能力：50g。该项目技术水平处于国际先进水平。研制的装置现已在国家量仪产品质量检验中心投入使用。该项目获得2014年哈尔滨市科技进步二等奖。
